薄膜應力測試系統(tǒng)（kSA MOS Film Stress Measurement System），又名薄膜應力計或薄膜應力儀！ 采用非接觸MOS激光技術(shù)；不但可以對樣品表面應力分布進行統(tǒng)計分析，而且還可以進行樣品表面二維應力、曲率成像分析；并且這種設(shè)計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時大大提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度。