光熱弱吸收測量儀

由于不可避免的殘余吸收，在高功率激光系統中使用的任何光學元件都會在光學材料內部受到熱應力的影響，從而導致傳輸的激光輻射出現瞬時波前畸變。這種現象被稱為“熱透鏡效應”，它會導致激光過程的功率相關性不穩定，例如會導致用于激光材料加工的光學器件出現“焦點偏移”等。

別名：弱吸收測量儀，強激光材料性能測試儀，光熱吸收測量儀，光學薄膜微弱吸收測量儀，光熱效應測量儀，熱透鏡效應測量儀

主要特點：

       光熱吸收測量

       熱透鏡效應測量

       激光誘導波前畸變測量

      測量分辨率<10pm (~ λ/10,000)

       實時吸收測量：ppm級靈敏度

           Relaxation of wavefront deformation after heating pulse                 Thermal lens in fused silica @193nm  

主要應用：

       光學材料測試

       透鏡熱吸收性能分析

       復雜光學瞬態畸變（如：F‐Theta平場聚焦鏡頭）

       質量控制

       高功率激光器（固體激光器、準分子激光器、CO2激光器等）

設備結構示意圖：

                                                                                                                  波前傳感器

可用的輻射源：

-高功率準分子激光器

         -351nm、308nm、248nm、193nm等

-固體激光器

         -1064nm、532nm、355nm、266nm（ns and ps 脈沖寬度）

         -1070nm光纖激光（500W cw）

         -可調諧OPO：680~980nm+IR-Idler

-激光誘導EUV/XUV源

        -13.5nm

        -~4nm

測試實例1：Thermal wavefront distortion on mirrors @193nm / 1000Hz

           On Quartz                                                                             On CaF2

            EUV Mirror                                                                        X-Ray Mirror

測試實例2：Focus shift in F-Theta objective@1070nm

測試實例3：Quarz plate + AR coating

光束測試軟件

測試基于ISO標準