Shack-Hartmann 波前傳感器

Hartmann - Shack夏克-哈特曼波前傳感器            

許多激光應用不僅需要了解和控制光束的強度分布，而且需要了解其主要由波前決定的傳播特性。例如，實時波前監測對于通過精確調整所有光束線元來優化光束聚焦至關重要。基于Hartmann哈特曼或Hartmann- shack夏克-哈特曼原理的波前傳感器實現了對激光輻射傳播行為的預測，以及對相干光源的實時確定，從同時記錄的強度和相位分布，可以通過菲涅耳-基爾霍夫積分計算光束沿光束路徑的任何位置，特別是焦平面的光束輪廓。

Hartmann - Shack夏克-哈特曼波前傳感器基本原理可以追溯到1900年，其基礎是通過針孔陣列（Hartmann）或微透鏡陣列（Hartmann- shack）將入射光束分裂成大量的單光束。這些光束中的每一個都在相機探測器上產生一個點，其相對于參考位置的質心定義了局部傳播方向。然后通過在傳播方向上的積分重建相位分布（波前）。波前的實時澤尼克分析可以精確評估光束像差（如精子像差，散光，彗差），的精確評估無論是內在性質或由外部光學引起的。此外，通過對所有光斑強度的積分，確定了光束的輪廓。

ProOpto多年來與哥廷根激光實驗室（Laser-Laboratorium Gottingen）有著深入的合作，提供基于相機的哈特曼-夏克波前傳感器，用于全面表征激光束。根據角分辨率/空間分辨率和波長的不同，可以適配大量微透鏡陣列（焦距、透鏡直徑）以及相機，以實現定制化波前測量。

Hartmann - Shack夏克-哈特曼波前傳感器系統基于微透鏡陣列，將入射波分散成大量的次級光波。用相機檢測每個獨立聚焦點的強度和位置，通過單次測試便能重構光束剖面和波前。

主要功能

        光束傳播（NIR~EUV）

        基于ISO光束參數分析

        M2光束質量因子實時測量                    

        聚焦性能檢測

        光學測試/Zernike分析

對于相干光源，所有相關的光束參數，如光束直徑、發散角和M2因子，均能從波前和光束輪廓實時計算得出，即在單次測量中完成。這在脈沖或波動激光源的情況下尤為重要。此外，菲涅耳 - 基爾霍夫積分能夠預測光束軸上任意位置的強度分布。這一點在束腰附近的光束輪廓方面表現得尤為突出，由于此處強度超高，測量往往極其困難。通過這種方式，可以優化光束聚焦。

主要特點

        單次測試可獲得所有光束參數

        光譜范圍: 1100nm~1nm

        動態范圍：up to 100λ（@633nm）

        靈敏度（光學測試）：<100pm

        多種規格微透鏡陣列和相機可選

        客戶方案定制

軟件界面：

光束測試軟件

測試基于ISO標準